研究生: |
楊天瑋 |
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論文名稱: |
高溫超導量子干涉元件之研製與特性鑑定 Development of high-Tc superconducting quantum interference device |
指導教授: |
洪姮娥
Horng, Herng-Er 楊鴻昌 Yang, Shieh-Yueh |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
光電工程研究所 Graduate Institute of Electro-Optical Engineering |
論文出版年: | 2013 |
畢業學年度: | 101 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 46 |
中文關鍵詞: | 磁量計 、梯度計 、離軸式脈衝雷射沉積法 |
論文種類: | 學術論文 |
相關次數: | 點閱:330 下載:0 |
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本研究主要探討,利用10mm × 10mm × 0.5mm雙晶體(bicrystal)鈦酸鍶(SrTiO3)的基板製作高溫超導量子干涉元件(High-Tc DC-SQUID)其磁量計與梯度計的製程與特性上的探討。實驗中,利用離軸式脈衝雷射沉積法來鍍製高溫超導薄膜在鈦酸鍶(SrTiO3)基座上成長釔鋇銅氧(YBa2Cu3O7-x)薄膜,並經由光學微影及乾式蝕刻製程以完成High-Tc dc-SQUID的製作。藉由原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM )、 X-Ray繞射儀(XRD),確認薄膜的品質以及蝕刻完的YBCO臨界溫度仍可達到Tc = 85 K ,比較出不同圖案的高溫超導量子干涉元件在特性上的差異。
本實驗在SQUID磁量計的特性測量,有5顆SQUID,Ic 約在160μA ~ 190 μA。Vpp大小約在20 μV~ 30 μV。在SQUID磁量計雜訊上,1 kHz值約35~45 μΦ0/Hz1/2左右,100 Hz值約135~150 μΦ0/Hz1/2左右。在SQUID梯度計的特性測量,有8顆SQUID。Ic 約在160μA ~ 400 μA。Vpp大小約在9 μV~ 18 μV。在SQUID梯度計雜訊上,1 kHz值約20~30 μΦ0/Hz1/2左右,100 Hz值約140~170 μΦ0/Hz1/2左右。
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