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| 研究生： |
林格偉 ling ga wei |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用脈衝雷射沉積法製作階梯式高溫超導量子干涉儀磁量計 |
| 指導教授： |
洪姮娥
Horng, Herng-Er 楊謝樂 Yang, Shieh-Yueh |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
光電工程研究所 Graduate Institute of Electro-Optical Engineering |
| 論文出版年： | 2009 |
| 畢業學年度： | 97 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 45 |
| 中文關鍵詞： | 超導量子干涉儀磁量計 、階梯 |
| 論文種類： | 學術論文 |
| 相關次數： | 點閱：115 下載：0 |
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本實驗使用的是階梯式的基座來製作SQUID magnetometer，其優點在其單晶取得較容易且單晶基板能大幅降低成本，我們的實驗使用尺寸為10 mm × 10 mm × 1 mm 的鈦酸鍶( SrTiO3)(001)基板，經黃光製程使其形成階梯(step-edge)，之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製高溫超導薄膜，材料為釔鋇銅氧，鍍上臨界溫度90 K以上的超導薄膜，經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作，之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。
在本論文中，我們成功製作出階梯式高溫超導量子干涉儀磁量計，樣品在液態氮溫度(約77.4 K)下量測出之臨界電流Ic約60~70μA左右，常態電阻(Rn)約1~3Ω間，而電壓-磁場訊號最大可達32μV，雜訊方面，在屏蔽的環境下，white noise可達到10 ~ 20 μΦ0/Hz1/2，等效面積約等於0.16 mm2，磁場敏感度在高頻1 KHz下 129 ， 代表我們所製作出的SQUID，已達到接近世界級的水準。
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