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研究生: 林格偉
ling ga wei
論文名稱: 利用脈衝雷射沉積法製作階梯式高溫超導量子干涉儀磁量計
指導教授: 洪姮娥
Horng, Herng-Er
楊謝樂
Yang, Shieh-Yueh
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 光電工程研究所
Graduate Institute of Electro-Optical Engineering
論文出版年: 2009
畢業學年度: 97
語文別: 中文
論文頁數: 45
中文關鍵詞: 超導量子干涉儀磁量計階梯
論文種類: 學術論文
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  • 本實驗使用的是階梯式的基座來製作SQUID magnetometer,其優點在其單晶取得較容易且單晶基板能大幅降低成本,我們的實驗使用尺寸為10 mm × 10 mm × 1 mm 的鈦酸鍶( SrTiO3)(001)基板,經黃光製程使其形成階梯(step-edge),之後利用脈衝雷射沉積法來鍍製高溫超導薄膜,材料為釔鋇銅氧,鍍上臨界溫度90 K以上的超導薄膜,經過光學微影技術及乾式蝕刻等製程來完成SQUID magnetometer的製作,之後再配合電路及量測儀器等來檢查我們做出來的SQUID特性。
    在本論文中,我們成功製作出階梯式高溫超導量子干涉儀磁量計,樣品在液態氮溫度(約77.4 K)下量測出之臨界電流Ic約60~70μA左右,常態電阻(Rn)約1~3Ω間,而電壓-磁場訊號最大可達32μV,雜訊方面,在屏蔽的環境下,white noise可達到10 ~ 20 μΦ0/Hz1/2,等效面積約等於0.16 mm2,磁場敏感度在高頻1 KHz下 129 , 代表我們所製作出的SQUID,已達到接近世界級的水準。

    第一章 緒論……………………………………………………………1 第二章 高溫超導量子干涉元件原理…………………………………2 2-1約瑟芬元件原理………………………..……………........2 2-2直流高溫超導干涉元件操作原理…………..…..………..6 第三章 階梯式高溫超導磁量計製程……………………..…..………8 3-1階梯式基座製作……………………………..…..………11 3-2高溫超導薄膜成長…………….…………………..…….19 3-3微影蝕刻技術……………..…….……….…………..…..23 3-4電性量測系統…………………………….…………..….27 第四章 階梯式高溫超導磁量計之特性量測……………………..…29 4-1階梯式基座特性………………………..….….....……....29 4-2階梯式高溫超導磁量計電性量測結果..….….....……....35 4-3階梯式高溫超導磁量計雜訊量測結果…………………38 第五章 結論……………………………………………………….….43 參考資料 誌謝

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