研究生: |
許文敏 Sheu Wen-Min |
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論文名稱: |
半導體薄層結構及單層摻雜之電光性質研究 Electrooptical Properties of the Semiconductor Thin-Film Structure with Delta-Doping |
指導教授: |
黃福坤
Hwang, Fu-Kwun |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
物理學系 Department of Physics |
畢業學年度: | 86 |
語文別: | 中文 |
中文關鍵詞: | 砷化鎵 、砷化鎵鋁 、砷化鎵銦 、內建電場 、單層摻雜 |
論文種類: | 學術論文 |
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我們以光調制反射光譜 (PR)來研究由分子束磊晶法 (MBE)長成的砷化鎵/砷化鎵鋁/砷化鎵銦之多層異質結構在不同溫度下其電-光性質的變化。實驗所得的譜形包含了六組振盪譜形,將此光譜做擬合與分析,進一步與蝕除薄層後的實驗譜形作比對,可辨識出各組振盪之源由。除了樣品表面及異質接面因能帶彎曲形成內建電場外,樣品中的單層摻雜 (Si Delta-doping )可提供大量的空間自由載子,形成空間電荷造成空間電場。內建電場的大小可以由振盪譜形推算出,並利用簡單的平行板電容模型所推算出的電場大小與之比較,而內建電場的方向可由能帶結構的模擬與擬合電場相比較之後得出。