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研究生： 陳均達
Jyun-Da Chen
論文名稱： 鈷鐵硼銅薄膜的磁光柯爾效應及鐵磁共振研究鈷鐵硼銅薄膜的磁光柯爾效應及鐵磁共振研究
Study of CoFeBCu thin films by means of MOKE and FMR
指導教授： 盧志權
Lo, Chi-Kuen
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 物理學系
Department of Physics
論文出版年： 2012
畢業學年度： 100
語文別： 中文
論文頁數： 51
中文關鍵詞： 鐵磁共振 、磁光柯爾效應 、鈷鐵硼
英文關鍵詞： FMR, MOKE, CoFeB
論文種類： 學術論文
相關次數： 點閱：143  下載：6 
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    • 在二氧化矽(SiO2)的基板上，以磁控式共濺鍍(Co-Sputtering)成長20nm及30nm (Co40Fe40B20)1-xCux薄膜，其x分別是0、15、25、35及50。柯爾磁光效應(Magnetic Optical Kerr Effect, MOKE)對樣品做不同角度的量測可得知磁異向性；當參雜Cu比例增時CoFeBCu薄膜的表面磁異向性從二重對稱(2-fold symmetry) 過渡到各向同性。以原子力顯微鏡(Atomic Force Microscopy, AFM)量測樣品表貌，發現隨著參雜金屬Cu增加時，樣品從柱狀排列變均勻分布的顆粒排列，印証了磁異向性的變化。樣品的矯頑力(coercivity)也隨著金屬Cu成分增加而變小；從0.052(Oe)下降至約為0(Oe)。從鐵磁共振(Ferromagnetic Resonance, FMR)分析結果顯示樣品的磁異向性係數Ku(anisotropy constant)，隨著參雜金屬Cu成分增加從7.33 (J/m3)下滑至3.33(J/m3)，吉爾伯特阻尼係數α(Gilbert damping constant)則隨著Cu成分增加從0.05上升至0.18。

    第一章 緒論 1 1.1 磁性來源 1 1.2 磁性物質分類 2 1.3 研究動機 4 第二章 文獻回顧 6 2.1 磁滯 6 2.2 微觀磁性 7 2.3 Stoner-Wohlfarth Model 8 2.4 Magnetization Reversal 10 2.5 磁光柯爾效應 10 2.6 鐵磁共振 13 第三章 實驗儀器與方法 18 3.1 實驗儀器 18 3.1.1 濺鍍系統 18 3.1.2 磁光柯爾量測儀 19 3.1.3 鐵磁共振頻譜儀 20 3.2 實驗流程 21 3.2.1 樣品製作 21 第四章 實驗結果與分析 28 4.1 磁光柯爾效應量測結果 28 4.2 異向性 33 4.3 原子力顯微鏡量測結果 36 4.4 矯頑力與薄膜厚度與成份的關係 38 4.5 鐵磁共振效應量測結果 40 4.6 角度與鐵磁共振磁場關係 44 4.7 角度與鐵磁共振頻譜共振磁場半高寬關係 46 第五章 結論 49 參考文獻 50

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