研究生: |
陳韋廷 Chen, Wei-Ting |
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論文名稱: |
氧化鋁覆蓋層效應於堆疊型與混合型氧化鉿鋯鐵電記憶體之電性分析與切換可靠度探討 Investigation on Electrical Characteristics and Switching Reliability of Stacked and Mixed Hafnium-Zirconium-Oxide Ferroelectric Memory with Aluminum Oxide Capping Layer |
指導教授: |
鄭淳護
Cheng, Chun-Hu |
口試委員: |
鄭淳護
Cheng, Chun-Hu 高瑄苓 Kao, Hsuan-Ling 藍宇彬 Lan, Yu-Pin |
口試日期: | 2022/08/25 |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
機電工程學系 Department of Mechatronic Engineering |
論文出版年: | 2022 |
畢業學年度: | 110 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 138 |
研究方法: | 實驗設計法 、 主題分析 |
DOI URL: | http://doi.org/10.6345/NTNU202201712 |
論文種類: | 學術論文 |
相關次數: | 點閱:57 下載:0 |
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