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| 研究生： |
孔慶俠 Kung, Ching-Shia |
|---|---|
| 論文名稱： |
利用雙極電位探針測量電漿的溫度和密度 Measuring the temperature and density of plasma with self-made |
| 指導教授： |
黃福坤
Huang,Fu Kwun |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
物理學系 Department of Physics |
| 畢業學年度： | 84 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 78 |
| 中文關鍵詞： | 電漿 、氣體放電 、電位探針 |
| 英文關鍵詞： | plasma, gas discharge, electric probe |
| 論文種類： | 學術論文 |
| 相關次數： | 點閱：166 下載：0 |
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本論文研究利用自製的浮動電位雙極探針( floating double probes )量
測了電漿的溫度和密度。電漿由自行裝置的真空放電系統產生。我們量測
了放電管中固定位置的溫度和密度的隨時間變化，並變換了幾個位置作量
測，以概略了解溫度與密度的空間變化。放電管的電極距離約10 cm，壓
力為 100 mtorr，放電電壓為 10 kV，而產生之弧光放電電流最大值接近
10kA；此電漿生存了 30-50μS 左右。放電電流由自製電流探測器－
Rogowski 線圈量測，並配合以積分器，以數位示波器將其波形(
waveform )記下來，再儲存至個人電腦上以程式分析之。浮動電位雙極探
針之信號由 Tektronix P6021 電流探測器測得。積分後同樣經示波器記
錄，再由 PC 儲存分析之。
