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研究生： 劉品均
論文名稱： 階梯式陣列SQUID磁量計製作與特性研究
指導教授： 楊鴻昌
學位類別： 碩士
Master
系所名稱： 光電工程研究所
Graduate Institute of Electro-Optical Engineering
論文出版年： 2010
畢業學年度： 98
語文別： 中文
論文頁數： 51
中文關鍵詞： SQUID 、YBCO 、釔鋇銅氧
論文種類： 學術論文
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    • 本論文主要是探討階梯式(Step-edge)直接耦合式直流SQUID磁量計之特性，其中SQUID 是以串聯方式與磁場補捉線圈形成直接耦合而成。磁量計中每個SQUID的線寬皆為3 μm，自感值為70 pH。實驗使用的基板階梯高度為192 nm, 階梯角度為70度,我們以階梯階梯高度與YBCO薄膜厚度比為1：1.2的條件下去製作SQUID磁量計, 順利的在階梯式基板製作陣列SQUID磁量計。
    本實驗製作階梯的過程，製作階梯時離子束入射方向蝕刻的角度與基板相對的角度約60度，清除基板上殘留SrTiO3顆粒的蝕刻角度，離子束入射方向與基板的角度能儘可能的平行，以使階梯上緣的角度可以尖銳又陡峭，可以使約瑟芬接面順利產生，離子束入射方向與基板夾角60度蝕刻出來的基板角度是最陡，清除殘留SrTiO3顆粒選擇離子束入射方向與基板的夾角接近平行效果好。

    第一章緒論 4 1-1前言 4 1-2超導量子干涉元件之應用 5 1-3 研究目的 5 第二章樣品製作 6 2-1 簡介 6 2-2 光學微影製程 11 2-3氬離子蝕刻 13 2-4高溫超導薄膜以及量測接點的製作 20 2.5約瑟芬元件圖案的製作 26 第三章理論背景 28 3-1 直流約瑟芬效應 28 3-2 約瑟芬接面的電路模型(RSJ model) 31 3-3 直流量子干涉元件(DC SQUID) 33 3-4 直接耦合式磁量計 37 第四章量測系統 40 4-1 低溫恆溫器 40 4-2 量測系統 41 第五章 實驗結果 44 5-1 SQUID磁量計圖形 44 5-2電流-電壓特性 46 5-3電壓-磁通特性 47 第六章結論與討論 49

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