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研究生：	侯勁龍
論文名稱：	覆鈀鉭針之皺化結構研究 The faceting structures of Pd covered Ta tips
指導教授：	傅祖怡
學位類別：	碩士 Master
系所名稱：	物理學系 Department of Physics
論文出版年：	2008
畢業學年度：	96
語文別：	中文
論文頁數：	55
中文關鍵詞：	覆鈀、鉭、皺化
論文種類：	學術論文
相關次數：	點閱：142 下載：21
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本研究先以多晶鉭線材在真空退火下再次結晶，並以掃描電子顯微鏡(SEM)與聚焦離子束(FIB)系統檢視晶粒擴大現象，其蝕刻成針尖形樣品後，結構較為穩固，提高在場離子顯微鏡(FIM)觀察時的電場耐受度。而鉭線退火於壓力10-6~10-7 Torr下，以SEM觀測表面發現因殘餘氣體誘發的皺化結構，以FIM系統鋪氧測試多組退火參數，尚未發現皺化結構。而覆鈀鉭針以675°C~685°C退火觀察，可發現由3個{110}擴張聚向鉭(111)面的皺化結構。

目錄：
摘要
第一章　簡介.............................................1
    1-1    研究皺化結構之動機................................1
    1-2    使用場離子顯微鏡之優勢............................2
    1-3    皺化結構形成單原子針之相關研究.....................3
      (一)理論方面.......................................3
      (二)實驗方面.......................................5
    1-4    研究鉭表面皺化之動機..............................9
第二章  實驗儀器與原理....................................11
    2-1場離子顯微鏡工作原理...............................11
     (一)場離子化機制....................................11
     (二)成像原理........................................13
     (三)場蒸發與場退吸附機制.............................15
    2-2場離子顯微鏡裝置..................................17
     (一)真空系統.......................................17
     (二)高壓源裝置.....................................18
     (三)低溫裝置.......................................18
     (四)成像系統.......................................19
        1.樣品的裝置....................................20
        2.氣瓶.........................................20
        3.訊號放大裝置..................................20
        4.影像紀錄......................................21
     (五)蒸鍍裝置.......................................21
第三章      樣品製備......................................23
    3-1多晶鉭線的熱處理..................................23
    3-2 鉭線蝕刻........................................24
    3-3退火與場蒸發清潔..................................25
第四章  實驗結果與討論....................................29
    4-1多晶鉭線加熱處理後之表面結構觀察....................29
     (一)未處理之多晶鉭線.................................29
     (二)高真空下1000。C加熱之多晶鉭線.....................30
     (三)超高真空下1000。C加熱之多晶鉭線...................32
     (四)鍍鈀後退火之鉭針.................................33
    4-2 Ta舖氧退火之表面結構觀察..........................37
    4-3 鉭針直接鍍鈀退火之表面結構觀察.....................40
    4-4 乾淨鉭(111)面鍍鈀退火之表面結構觀察................42
     (一)實驗結果........................................42
     (二)分析討論........................................47
第五章  結論.............................................53
    5-1多晶鉭線的熱處理...................................53
    5-2氣體誘發鉭表面皺化的可能性..........................53
    5-3 Pd/Ta系統的皺化結構...............................53
參考文獻.................................................54
                                

參考資料
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