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研究生: 龎楷翃
論文名稱: SQUID磁量計串接式特性之研究
指導教授: 楊鴻昌
Yang, Hong-Chang
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 光電工程研究所
Graduate Institute of Electro-Optical Engineering
論文出版年: 2008
畢業學年度: 96
語文別: 中文
論文頁數: 35
中文關鍵詞: 磁量計
論文種類: 學術論文
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  • 在本實驗中,我們在10 mm x 10 mm x 1 mm的碳酸鍶雙晶體(晶界夾角24°)上鍍製高溫超導薄膜(YBa2Cu3O7-δ),並用來製作直接耦合式磁量計,並對其進行分析及研究。
    我們總共設計9個SQUID在圖形中,其目的是要增加研製時的成功良率,避免因為單一個SQUID的Josephson 接面失敗,而造成整個樣品的失敗。另外此設計可以單獨一個操作,或可將兩個SQUID串聯起來工作,如此可以使得Vpp有疊加的作用,其優點是會使SQUID的靈敏度提高。其中有3種不同線寬,分別為2μm、3μm及4μm。
    最後我們製作出來的磁量計單顆SQUID的Vpp為8μV到20μV之間。而雜訊部份,在頻率為1Hz時,都有數pT/cmHz1/2以上;而在白雜訊區段,則都在100fT/cmHz1/2以上。

    第一章 導論…………………………………………………………….5 第二章 超導量子干涉元件(SQUID)原理……………………………..7 2-1 約瑟芬元件原理 (Josephson junction)………………....7 2-2 直流式超導量子干涉元件……………………….…....9 第三章 元件製程……………………………………………………...14 3-1 高溫超導薄膜成長技術………………………………. 14 3-1-1基板的處理....................................................14 3-1-2雷射鍍膜系統........................................................... 17 3-1-3樣品品質的測量........................................................17 3-2 鍍金膜…………………………………………………. 19 3-3 光學顯影術…………………………………………….20 3-4 氬離子蝕刻…………………………………………….21 3-5 電性量測系統…………………………………………23 第四章 磁量計特性量測及分析……………………………………...25 4-1 直接耦合式磁量計…………………………………….26 4-2 電壓對電流特性及電壓對磁通特性……………….. 28 4-3 頻譜雜訊……………………………………………….32 4-4 有效面積……………………………………………….34 第五章 結論…………………………………………………………...35 參考資料

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