研究生: |
游淑婷 |
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論文名稱: |
砷化鎵/砷化鎵鋁多層異質結構的調制光譜研究 |
指導教授: | 陸健榮 |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
物理學系 Department of Physics |
畢業學年度: | 85 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 65 |
中文關鍵詞: | 砷化鎵 、砷化鎵鋁 、多層異質結構 |
英文關鍵詞: | GaAs, AlxGa1-xAs |
論文種類: | 學術論文 |
相關次數: | 點閱:149 下載:0 |
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我們以光調制反射光譜(Photoreflectance/PR)來研究由分子束磊晶法(MBE)長成的砷化鎵(GaAs)/砷化鎵鋁(AlxGa1-xAs)之多層異質結構在不同溫度下其電-光性質的變化。實驗所得的譜形相當複雜,共包含了四組振盪譜形,將此光譜做擬合與分析,進一步與蝕除薄層後的實驗譜形作比對,可辨識出各組振盪之源由。除了樣品表面及異質接面因能帶彎曲形成內建電場外,樣品中的單層摻雜(Siδ-doped)可提供大量的空間自由載子,形成空間電荷造成空間電場。內建電場的大小可以由振盪譜形推算出,並利用簡單的平行板電容模型所推算出的電場大小與之比較。