研究生: |
紀柏宇 Chi, Po-Yu |
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論文名稱: |
探討氮化鈦介面層應用於氧化鋁鉿鐵電記憶體之電性可靠度研究 Electrical and Reliability Investigation of Hafnium Aluminum Oxide Ferroelectric Memory Using a Titanium Nitride Interface Layer |
指導教授: |
鄭淳護
Cheng, Chun-Hu |
口試委員: |
鄭淳護
Cheng, Chun-Hu 黃靖謙 Huang, Ching-Chien 高瑄苓 Kao, Hsuan-ling |
口試日期: | 2024/07/29 |
學位類別: |
碩士 Master |
系所名稱: |
機電工程學系 Department of Mechatronic Engineering |
論文出版年: | 2025 |
畢業學年度: | 113 |
語文別: | 中文 |
論文頁數: | 93 |
研究方法: | 實驗設計法 |
論文種類: | 學術論文 |
相關次數: | 點閱:4 下載:0 |
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