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研究生：	蕭博唐 Po-Tang Hsiao
論文名稱：	化學氣相沉積石墨烯轉移方式的改良以及元件的製作
指導教授：	江佩勳 Jiang, Pei-hsun 陳啟東 Chen, Chii-Dong
學位類別：	碩士 Master
系所名稱：	物理學系 Department of Physics
論文出版年：	2014
畢業學年度：	102
語文別：	中文
論文頁數：	41
中文關鍵詞：	石墨烯、轉印、懸浮元件、化學氣相沉積法
英文關鍵詞：	graphene, transfer, suspended device, chemical vapor deposition
論文種類：	學術論文
相關次數：	點閱：274 下載：17
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在氣相沉積的石墨烯元件製備中，一般都會使用甲基丙烯酸甲酯（Polymethylmethacrylate，PMMA）作為轉移用的中間介質，但如何去除PMMA、光阻等聚合物的殘留物，避免影響石墨烯電性、鍵結等性質，一向是一個重要課題。我們發展出一種製程，透過舉離、壓印等方法盡可能地減少聚合物在製程中的參與，並用以製備石墨烯場效應電晶體、懸浮石墨烯奈米線等元件，並透過電性量測與拉曼光譜驗證石墨烯元件的品質。

摘要    i
致謝    ii
Chapter 1 基本概念    1
1.1 石墨烯    1
1.2 石墨烯樣品的製備    5
Chapter 2 實驗技術    6
2.1 拉曼光譜學 （Raman Spectroscopy）    6
2.1.1 拉曼散射原理    6
2.1.2 拉曼光譜儀設置    7
2.1.3 石墨烯的拉曼光譜    9
2.2 電子束微影術    11
2.2.1 掃描式電子顯微鏡（Scanning Electron Microscope，SEM）    11
2.2.2 電子束微影原理    13
2.3 熱蒸鍍系統    15
2.4 電漿蝕刻系統    16
2.5 樣品的設計    18
2.6 電性量測    19
Chapter 3 實驗與討論    20
3.1 無聚合物的石墨烯樣品之製備    20
3.1.1 金屬保護層的測試    21
3.1.2 金屬保護層的製備    22
3.2 石墨烯元件的製作與量測    23
3.2.1 以舉離法製作石墨烯元件    23
3.2.2 以壓印法製作石墨烯懸浮元件    27
3.3 石墨烯元件的拉曼光譜分析    32
Chapter 4 總結與未來展望    35
附錄    36
附錄一 金屬框的測試    36
附錄二 基板的蝕刻與石墨烯的懸浮    38
Chapter 5 參考資料    40
                                

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